\documentclass[a4paper,ngerman,12pt]{article} 
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\setlength\parindent{0pt}% damit nicht eingerueckt wird

\makeatletter
% werden nicht alle benoetigt ...
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  >{\begin{turn}{90}\begin{minipage}{#1}\scriptsize\raggedright\hspace{0pt}}l%
  <{\end{minipage}\end{turn}}}
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\makeatother

\begin{document} 

\begin{tabular}{@{}n*{6}{d{3.0}}@{}}\toprule% tab15.tex
 \multicolumn{1}{@{}N}{Zeit} & \multicolumn{2}{N}{Material von Drischel} &
 \multicolumn{2}{N}{Material von Bauer} & \multicolumn{2}{N@{}}{Eigenes Material} \\
    \cmidrule(lr){2-3}\cmidrule(lr){4-5}\cmidrule(l){6-7}
 & \multicolumn{1}{V{4.5em}}{Häufigster Wert} &
   \multicolumn{1}{V{3.5em}}{Extremwert} & \multicolumn{1}{V{4.5em}}{Häufigster Wert} &
   \multicolumn{1}{V{3.5em}}{Extremwert} & \multicolumn{1}{V{4.5em}}{Häufigster Wert} &
   \multicolumn{1}{V{3.5em}@{}}{Extremwert} \\
      \cmidrule(r){1-1}\cmidrule(lr){2-2}\cmidrule(lr){3-3}\cmidrule(lr){4-4}%
      \cmidrule(lr){5-5}\cmidrule(lr){6-6}\cmidrule(l){7-7}\addlinespace
 Latenzzeit                 & 220 & 330 & 245 & 325 & 235 & 320 \\
                            &     & 150 &     & 155 &     & 160 \\\addlinespace
 Halbwertszeit des Abstiegs & 210 & 380 & 145 & 535 & 180 & 320 \\
                            &     &  90 &     &  95 &     &  70 \\\addlinespace
 Gipfelzeit                 & 485 & 700 & 375 & 535 & 420 & 600 \\
                            &     & 260 &     & 315 &     & 290 \\\addlinespace
 Halbwertszeit des Anstiegs & 855 & 870 & 665 & 945 & 775 & 820 \\
                            &     & 590 &     & 575 &     & 490 \\\addlinespace\bottomrule
\end{tabular}

\end{document}
